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ILA探头电容式位置传感器

“电缆是低噪音高弹性硅胶集成到ILA探针,并轴向退出探针”

ILA探头电容位置传感器| Althen传感器

ILA探针的示例应用

  • 显微镜焦点
  • 镜头对齐
  • 部分貌相
  • 部分倾斜
  • 半导体晶片厚度
  • 压电舞台位移
  • 振动测量
  • 计算机磁盘用完和厚度
  • 制动转子翘曲和厚度
  • 金属板厚度
  • 光伏晶片

规格

测量范围
0.025至2.54毫米
准确性
0.05%FS.
压力等级
标准200 psig.
电缆长度
2.44米至15.2米
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